중국 반도체 장비 수입 93% 급증...노광기 제조 네덜란드산 수입 6.1배 급증

중국 반도체 장비 수입, 93% 증가
형 장비 이용, 첨단 반도체 제조 성공
6.1배 급증한 노광기 강국 네덜란드제 중국 시장 점유율 15%→30%
일제 점유율 32%→25%...미제, 17%→9%

네덜란드 ASML이 생산하는 극자외선(EUV) 노광기./ASML 홈페이지 캡처

올해 3분기(7~9월) 중국의 반도체 제조 장비 수입이 전년 동기 대비 93% 급증했다고 니혼게이자이(日本經濟)신문(닛케이)이 14일 보도했다.

닛케이는 중국 해관총서(세관)가 발표한 데이터베이스를 분석해 이같이 전하고, "중국이 미국 정부의 반도체 제조장비 수출 규제 강화 상황에서도 첨단 반도체 제조에 성공하고 있다"며 "미국이 중국에 대한 수출 규제를 더욱 강화하면 반도체 장비업체들의 중국 전략도 재검토 압박을 받을 가능성이 있다"고 평가했다.

미국 성조기와 중국 오성홍기 위에 중앙처리장치(CPU) 반도체 칩이 놓여있다./로이터·연합뉴스

◇ 중국 반도체 장비 수입, 93% 증가...네덜란드제 수입, 6.1배 급증..중국 시장 점유율 15%→30%

닛케이가 중국 해관총서의 반도체 또는 집적 회로 제조 기계 및 장비 수입 동향을 조사한 결과, 3분기 수입 총액은 634억위안(11조5000억원)이었다. 국가별 수입 내역을 보면 네덜란드산 수입이 지난해 동기보다 6.1배 급증했다. 제조 장비 중 미세한 회로 형성에 사용되는 노광기 관련 수입이 3.9배 늘었는데 세계 최대 노광기 제조업체 ASML이 있는 네덜란드로부터의 수입은 6.2배 급증했다.

노광은 기판 위에 나노미터(nm·10억분의 1m) 단위의 미세한 회로를 그리는 반도체 제조 핵심 공정으로 노광기는 발주부터 납품까지 6개월에서 1년이 걸린다. 일본의 니콘·캐논 등도 제조하고 있지만 중국이 수입한 노광기는 대부분 ASML 제품으로 보인다고 닛케이는 설명했다.

올해 3분기 ASML의 매출에서 중국이 차지하는 비중은 46%를 기록, 지난해 14%에서 크게 증가했다. 이에 따라 중국의 반도체 장비 수입에서 네덜란드가 차지하는 비중도 2021년 약 15%에서 30%로 급등했고, 일본의 비중은 32%에서 25%로 하락했다. 미국의 비중은 17%에서 9%로 급락했다.

한 여성이 9월 22일 중국 상하이(上海)의 애플 스토어에서 애플 아이폰 15(왼쪽)와 화웨이(華爲) 메이트60 프로를 비교하고 있다./로이터·연합뉴스

◇ 중국, 일본제 반도체 장비 수입 40% 증가...일본 점유율 32%→25%...미국, 17%→9%

중국의 일본제 반도체 장비 수입은 40% 늘었다. 노광기 수입액이 늘었고, 도쿄(東京)일렉트론이 생산하는 기판 표면 형성 장비 수입도 20% 증가했다. 미국산 반도체 장비 수입액도 20% 늘었다.

노광기는 미국 정부가 2022년 10월 시작한 대중국 수출 규제 품목으로 네덜란드 정부는 올해 9월 1일부터 첨단 반도체 제조에 사용되는 일부 노광기 수출에 심사 및 허가를 요구하고 있다.

ASML은 10월 결산 보고에서 중국 사업에 대해 "수출관리규제를 준수하면서 구세대·중간 세대 (반도체)용 노광 시스템을 출하하고 있다"고 설명했다.

◇ 중국, 구형 장비 이용, 첨단 반도체 제조 성공

하지만 중국이 미국 정부의 수출 규제 포위망 속에서도 그 허점을 파고들어 첨단 반도체 제조 기술 향상시키는 등 수출된 노광기가 첨단 반도체 제조에 전용될 우려가 있다고 닛케이는 지적했다.

닛케이는 전날 중국 최대 통신장비업체 화웨이(華爲)가 8월 출시한 스마트폰 메이트60 프로에 탑재한 7nm(나노미터·10억분의 1m) 공정 프로세스 제조에 구형 노광기가 사용된 것으로 보인다고 전했다.

미국 싱크탱크 전략국제문제연구소(CSIS)는 10월 보고서에서 7nm 반도체를 제조한 것으로 보이는 중국 최대 반도체 위탁생산(파운드리) 업체인 SMIC(中芯國際·중신궈지)가 구세대 라인에서 사용하던 제조장비를 활용해 첨단 반도체를 양산할 수 있다고 분석했다.

CSIS는 네덜란드가 수출을 제한하는 장비는 첨단 반도체 제조에 사용되는 노광기와 준첨단 노광기 일부라며 중국의 비첨단 노광기 추가 구매로 SMIC의 7nm 반도체 잠재적 생산 능력이 더 향상될 수 있다고 경고했다고 닛케이는 전했다.